에이피티씨:식각장비 국산화(f. TEL)와 최우형 대표 vs 김남헌 창업주 경영권 분쟁까지

동사는 글로벌 식각기업들인 램리서치(RAM), 어플라이드 머트리얼즈(AMAT), 도쿄일렉트론(TEL)에 미치지는 못하지만, 삼성전자 자회사인 세메스와 함께 식각장비의 국산화를 선도하고 있는 기업입니다. 동사의 주력 제품은 300mm 폴리실리콘 식각장비(Poly Etcher)로, 위와 같이 거의 모든 매출이 SK하이닉스에서 발생하고 있습니다. 아직까진 다른 기업에게로 동사의 장비를 유의미하게 납품하고 있지 못한 상황이라, 매출처 편중에 따른 리스크가 존재하는 기업입니다. 향후 SK하이닉스 이외의 반도체 업체에게 납품이 현실화되면, 매출처 다변화에 따른 재평가도 기대해볼 수 있는 이유입니다.

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식각 공정에 대해서 간략하게 살펴보겠습니다.

식각 장비는 반도체 제조 공정에서 반도체 웨이퍼 위에 증착된 박막을 선택적으로 제거하는 역할을 수행합니다. 식각 반응에 사용하는 물질에 따라 습식 식각과 건식 식각으로 나뉘는데, 습식 식각은 용액을 사용하고 건식 식각은 기체나 플라즈마를 사용한다는 차이점이 있습니다. 건식 식각장비는 대부분 플라즈마 기체를 이용하는데, 식각 방향을 자유롭게 선택하여 미세한 패터닝이 가능해 습식 식각방식보다 널리 쓰이는 방식입니다.

식각장비는 식각되는 물질에 따라 Poly, Metal, Oxide로 분류되는데, Poly (Silicon) 식각장비, Metal 식각장비, Oxide 식각장비는 이름이 붙어있는 대로 각각 폴리실리콘, 메탈, 옥사이드를 식각할 때 사용됩니다. 이러한 식각장비 중에서 동사는 건식식각장비를 판매하고 있으며, 보다 구체적으론 300mm 식각장비들인 Metal Etcher 1개 모델('Nardo-M')과 Poly Etcher 2개 모델( 'Leo NK Ⅰ-C' 및 'Leo WH' )을 판매중이며, Oxide Etcher('TIGRIS')는 현재 개발중에 있습니다.

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다음으론 동사의 식각장비가 어떤 과정을 통해 웨이퍼를 식각하는 지를 살펴보겠습니다. 사실 투자에 있어서 이 정도로 구체적이게 알 필요는 없다고 생각되나, 식각 과정에 대한 투자자 분들의 궁금증을 어느정도 해결해줄 수 있을 것 같아 설명을 덧붙입니다.

동사의 300mm Poly 식각 장비는 위 그림과 같이 Load Port와 EFEM(Equipment Front End Module), BM(Buffer Module), TM(Transfer Module)및 PM(Process Module)으로 구성되어 있습니다. 공정이 진행되는 순서는 아래 그림과 같습니다.

① Load Port( FOUP 문을 열고 닫으면서 웨이퍼가 반송될 수 있도록 해주는 설비)는 FOUP(Front Opening Universal Pod; ​​반도체 제조 공정에서 웨이퍼를 운반할 때 쓰이는 특수 목적용 설비)이 놓이는 곳이며, EFEM에는 대기압 상태에서 동작하는 로봇과 Aligner가 있습니다. 

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③ BM(버퍼 모듈)은 대기압과 진공 상태를 반복하는 공간입니다. 대기압 상태에서 웨이퍼가 들어오면 진공 상태의 TM을 통해 PM으로 가기 전에 진공 상태로 전환됩니다. 이후엔 TM(이송 모듈)안에 있는 로봇이 BM에 놓인 웨이퍼를 식각이 진행되는 PM(공정 모듈)으로 운반합니다.

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④ PM에서 식각 과정을 마친 웨이퍼는 다시 TM과 BM을 거쳐서 웨이퍼에 남아 있는 유독 가스를 제거한 후에, 원래 위치의 FOUP으로 넣어줍니다. 이렇게 되면 식각 공정이 완료되는 것이고, 다음 공정으로 이동하게 되는 것입니다.

동사는 이와 같은 건식식각을 진행하는 식각장비를 생산 중에 있으며, 위 로드맵을 살펴보면 동사가 판매하고 있는 식각 장비 종류를 좀 더 잘 이해하실 것 같습니다. 사실 TIGRIS의 경우 원래 시계열이 22년 12월까지 초도품 aChamber을 제작 완료할 예정이었으나, 예상치 못한 반도체 업황 악화와 그에 따른 SK하이닉스 CAPEX CUT으로 인해 시계열이 뒤로 밀려진 상황입니다. 1Q23 분기보고서에서는 올해 8월에 초도품을 제작할 예정이라고 기재되어 있으며, 12월에는 검증 테스트를 진행할 예정이라 되어있습니다. 동사의 투자자 입장에선 TIGRIS 개발의 시계열이 뒤로 밀리는 것은 아쉽긴 하지만, 올해 말부터는 검증 테스트를 진행한다하니 반도체 업황 개선이 본격화되는 24-25년에는 관련 매출이 발생할 수 있으리라 추정됩니다.

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특히 식각 장비에서 폴리실리콘 식각장비와 옥사이드 식각장비의 시장 규모가 대략적으로 1:1입니다. 현재까지 동사는 폴리실리콘 장비를 위주로 매출이 발생했는데, 옥사이드 식각장비인 TIGRIS가 성공적으로 제품 검증을 끝마친다면 관련 매출이 크게 증가할 수 있을 것입니다. 물론 SK하이닉스의 옥사이드 식각장비에 동사의 제품이 곧바로 수 십대 설치된다는 것은 조금 과장섞인 이야기겠으나, 옥사이드 식각장비로의 진출은 기존의 폴리실리콘 식각장비으로만 의존했던 사업구조를 다변화시킬 수 있다는 점에서 긍정적입니다. 

특히 최근 기사에 따르면 일본의 TEL은 RF파워와 DC펄스를 혼용하는 방식을 통해, 식각 속도가 빠르고 패턴 모양도 매끄럽게 만들 수 있는 신규 식각 장비를 개발하였다고 전해집니다. 이 방식이 삼성전자 엔지니어들 사이에서 호평이 쏟아졌고, 이에 삼성전자 내 식각 장비 중 60% 가량을 점유하고 있는 램 리서치의 지위가 위협받을 수 있는 상황인 것으로 알려졌습니다.

일본 TEL '비밀병기' 하이브리드 식각기, 삼성 내 장비 지형도 바꾸나 세계 4위권 반도체 장비업체 일본 도쿄일렉트론(TEL)이 신규 개발한 하이브리드 옥사이드 식각(Etch) 장비가 업계서 화제다. 식각 속도가 기존 장비 대비 현저히 빠른데다, 작업 후 결과물 완성도가 높아서 소자 업계, 특히 삼성전자가 특별한 관심을 보이고 있는 것으로 전해졌다.18일 업계에 따르면 TEL은 하이브리드 옥사이드 식각기 데모 장비를 조만간 삼성전자 반도체연구소가 지정한 공간에 설치할 계획인 것으로 알려졌다. TEL의 신규 옥사이드 식각 장비는 에너지 소스로 전통적인 무선주파수(RF) 제너레이터와 함께 직류(DC) 펄스 한주엽 기자 전자부품 전문 미디어 디일렉

TEL의 신규 식각 장비 개발 소식을 소개시켜 드린 이유는 동사 DC 펄스와 RF 파워를 이용한 플라즈마 식각 시스템(TIGRIS)을 개발하고 있기 때문입니다. 즉, 동사 역시 TEL이 신규로 개발한 식각 장비와 비슷하게 TIGRIS 장비를 개발 중에 있으며, TIGRIS가 RF+DC를 활용하여 TEL처럼 좋은 성능을 낼 경우 SK하이닉스 내 점유율을 늘릴 수 있을 뿐만 아니라 SK하이닉스 이외의 업체로도 공급을 확대할 수 있는 것입니다.

특허청을 살펴보면, 동사가 22년 3월에 출원한 플라즈마 에칭 시스템 관련 특허가 존재합니다. 발명자 중 한명은 현재 동사의 대표이사인 최우형 대표입니다. 그리고 해당 특허의 요약을 살펴보면 RF 모듈과 DC 모듈을 포함한다고 되어있습니다. 반도체의 기술적인 부분에 대해서 세부적인 내용까지 TEL과 다른지 동일한 지는 판단할 수 없겠지만, 대략적으로 TEL의 신규 장비와 비슷한 방식으로 개발하려는 것입니다. 즉, RF+DC를 활용한 TIGRIS가 성공적으로 개발된다면 TEL이 삼성전자 내 AMAT의 점유율을 위협하는 것처럼, SK하이닉스와 그 외의 업체에게서 러브콜을 여럿 받을 수 있다는 이야기입니다. 

현재 동사를 둘러쌓고 최우형 現 대표이사와 김남헌 창업주 간에 분쟁이 발생한 상황입니다. 원래 김남헌 창업주가 최대주주의 지위였으나, 유상증자나 주식양도 등으로 지속적으로 지분율이 하락하면서 최근에는 최우형 現 대표이사와의 지분율 격차가 2% 내외로 줄어들었습니다.

본래 김남헌 창업주가 회사를 경영하고 있을 때 회사가 경영난에 시달렸는데, 이러한 경영난을 돕고자 증권맨으로 일하던 최우형 現 대표이사가 증권사에서 사직하고 동사에 입사한 것으로 알려졌습니다. 이에 김남헌 창업주는 최우형 現 대표이사와 매우 돈독한 관계를 맺었으나, IPO 이후 공동 목적 보유 확약서 기간이 지나자 둘 간의 관계에서도 변화의 흐름이 감지되기 시작했습니다.

김남헌 창업주는 22년 7월에 '나이스플라즈마'라는 식각장비 전문 기업을 설립하고, 11월에 테스트 제품 개발에도 착수했습니다. 올해 5월에는 벤처 기업 인증을 받은 데에 이어서, 최근에는 VC에게서 투자 유치도 받은 것입니다. 동사와 동일한 사업을 영위한다는 점에서, 김남헌 창업주의 '나이스플라즈마'는 분명 엄청난 부담으로 작용할 수 있는 것입니다.

에이피티씨 김남헌 전 대표, 식각장비 기업 ‘나이스플라즈마’ 설립 반도체 식각장비 제조기업인 에이피티씨(APTC) 전 대표인 김남헌씨가 지난해 식각장비 기업인 ‘나이스플라즈마(NysePlasma)’를 설립한 것으로 뒤늦게 확인됐다. 김남헌씨는 현재 에이피티씨 대주주로, 최근 회사를 상대로 경영권 분쟁 관련 소송을 제기한 상태다. 본인이 최대주주로 있는 회사(에이피티씨)의 잠재적 경쟁업체가 될 수 있는 장비회사를 설립한 와중에, 경영권 분쟁도 제기했다는 점에서 향후 논란이 예상된다.26일 업계에 따르면 김남헌 전 대표는 지난해 6월25일(설립등기일 기준) ‘나이스플라즈마’란 이름의 반도체 장비 기업 강승태 기자 전자부품 전문 미디어 디일렉

<2022. 12 .26>

나아가 이사회의사록을 열람할 수 있도록 소송을 신청(현재 기각)하고, 회계장부를 열람할 수 있도록 신청했으며, 회사가 발행한 신주도 발행무효(22년 11월에 전환상환우선주 155만 주 발행함)를 신청한 상황입니다. 사실상 최우형 現 대표이사와의 사이가 크게 틀어진 셈입니다. 일각에서는 본인이 갖고 있는 지분율 11.89% 가량을 1,000억 안팎에 매각하려고 희망하고 있다는 점에서, 경영권 분쟁을 통해 주가를 띄운 뒤에 높은 가격에 차익을 남겨 매각하기를 원하는 것일 수도 있겠습니다. 

물론 최우형 現 대표이사 역시 회사만을 무조건적으로 생각하는 기업인은 아닙니다. 동사는 21년도와 22년도에 각각 540억과 310억 원 가량의 영업이익을 기록했는데, 최우형 現 대표이사는 21년도와 22년도에 각각 58억과 80억 원에 달하는 개인보수를 챙겨갔습니다. 물론 자본주의 시장에서 자신의 능력만큼 가져가는 것은 죄가 아니겠으나, 회사 규모와 영업이익과 대비해서 지나치게 높은 금액을 개인보수로 챙겨간다는 비난도 일견 타당해보입니다. 어쩌면 이와 같은 최우형 現 대표이사의 행보가 김남헌 창업주를 자극한 것일 수도 있겠습니다.

진실은 전말이 세상에 공개되지 않는 한 개인투자자들이 세세하게 알기 어렵습니다. 그러나 하나 확실한 점은 최우형 現 대표이사과 김남헌 창업주 간에 분쟁이 발생하고 있고, 이는 경영권 분쟁으로 인한 주가 상승까지도 노려볼 수 있는 것입니다. 반도체 업황 개선과 신규 장비 'TIGRIS' 개발에 따른 EPS 개선과 함께 경영권 분쟁에 따른 PER 상승도 함께 노려볼 수 있는 기업이기에 관심가져둘 기업이라 생각됩니다. 감사합니다.