[이오테크닉스] 이오테크닉스 UV LASER에 대한 이해를 높혀보자

회색 · 2년 전

안녕하세요 글 잘보았습니다. 다만 UV- LASER에 대해서 의구심이 많이 듭니다. 

몇 가지 의구심은 TSV에 LASER에 대한 처리량이 괜찮은가? 에 대한 내용입니다.
1) 대량의 CHIP을 처리하기 위한 생산량은 ETCH가 낮지 않은가?
다량의 CHIP을 처리하기 위해선 레이저 광원 또한 많은 량의 광원이 필요함.
몇개의 광원으로 1개의 칩에 들어있는 VIA가 수십개고, 처리해야하는 칩의 양이 수백개면, 처리가 가능한가 
라는 의구심입니다. 다만 그냥 화학적인 처리 방식으로 식각액에 넣고 빼면 끝이니까요.

2) LASER 장비를 굳이 사용할 필요가 있는가 ?
 현재 반도체 전공정에서 수십 나노 단위의 식각 공정을 진행 중임, TSV에 사용되는 단위는 10um(=10,000nm) 수준으로 과거의 전공정 장비로도 충분히 제어가 가능해보인다고 생각이 듭니다.